Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел: Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел: Курс лекций

В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов. Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 5401, 0709, и 0710.